장비 설치
Pump Install
Dry · TMP Pump 설치와 On-Tool 격자보 설치를 지원합니다. Set-up 및 장비 유지보수 경력 5~20년 이상의 인력이 합리적인 금액으로 고객사 업무에 대응합니다.
On-Tool Pump Type별 설치
| Type | 설치 장소 | 특징 | 유지보수 |
|---|---|---|---|
| Wheel Type | 라인 내 FSF · CSF 위주 | 설치 시 주변 시설물 간섭 제한이 없음 | 교체 · 점검이 수월하며 일반 작업으로 진행 |
| Bar Type | FAB 내 Grating 하부 격자보 상부 | Main 설비(Chamber)와 가까워 공정 수율이 높고 공간 활용이 용이 | 위험작업 허가서 발행 후 작업 |
| 매립형 Type | FAB 내 Grating 하부 격자보 중간 | Bar Type 설치가 어려울 때 대체, 공간 활용이 용이 | 위험작업 허가서 발행 후 작업 |